| 參數(shù) | TGV規(guī)格 |
| 材料 | 玻璃、石英等 |
| 晶圓尺寸 | 4”、6”、8”、12”等 |
| 最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
| 最小孔徑 | 20μm |
| 通孔斜度 | 3~8° |
| 通孔間距 | 50μm、100μm、150μm等 |
| 最大深寬比 | 1:10 |
| 金屬鍍層 | 可加工 |
* 備注：可以根據(jù)客戶需求定制 | |
| 參數(shù) | TGV規(guī)格 |
| 材料 | 玻璃、石英等 |
| 晶圓尺寸 | 4”、6”、8”、12”等 |
| 最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
| 最小孔徑 | 20μm |
| 通孔斜度 | 3~8° |
| 通孔間距 | 50μm、100μm、150μm等 |
| 最大深寬比 | 1:10 |
| 金屬鍍層 | 可加工 |
* 備注：可以根據(jù)客戶需求定制 | |